TOPCon電池大擴產趨勢明確，將帶動薄膜沉積設備市場需求空間提升

薄膜沉積設備在高效電池中應用前景廣闊。光伏薄膜沉積設備主要應用于太陽能晶硅電池片的制造環節，根據電池不同工藝和所需的薄膜性質，所采用的薄膜沉積設備會有所不同。

①PERC電池：薄膜沉積設備主要用于PERC電池的鈍化和減反膜的制備，其中ALD設備主要用于沉積Al2O3薄膜，PECVD主要用于沉積SiNx薄膜，此外也可使用PEALD二合一設備在同一設備中先后完成兩層薄膜的制備；

②TOPCon電池：TOPCon電池生產線可以由PERC電池生產線升級改造實現，除原薄膜沉積需求外，還增加了隧穿層和摻雜多晶硅層鍍膜需求；

③HJT電池：整體結構變化較大，其制造環節只需4大類設備，分別是制絨清洗設備、非晶硅沉積設備、透明導電薄膜設備和印刷設備，其中非晶硅沉積設備、透明導電薄膜設備均需要用到薄膜沉積設備。

以TOPCon為主的新型高效電池擴產需求將持續推動光伏薄膜沉積設備市場空間提升。

PERC、TOPCon電池制備工藝流程及各環節主要設備

資料來源：公開資料

TOPCon產線中薄膜沉積設備價值量相比PERC產線顯著提升。由于TOPCon電池生產線可以由現有PERC電池生產線升級改造完成，而且目前TOPCon電池生產線單位投資規模和運營成本低于HJT電池生產線，因此TOPCon電池生產線在N型電池線建設中進展顯著。根據上市公司披露的項目投資明細，TOPCon產線每GW平均投資規模高于PERC產線，其中薄膜沉積相關設備在PERC產線建設中的投資占比為24.71%-26.73%，在TOPCon產線建設中的投資比重上升至36.43%-39.12%。

上市公司電池片項目投資明細

TOPCon電池大擴產趨勢明確，預計2023年擴產規模超過300GW。2022年TOPCon電池在諸多新老玩家入局后，無論是擴產規模還是降本增效均超出預期，而龍頭玩家的良好示范效應也進一步加速行業發展，2023Q1以來TOPCon大擴產趨勢更為明確，根據我們的不完全統計，目前現有在建及規劃TOPCon電池項目豐富，總量達到600GW以上，考慮到項目落地節奏，我們預計2023年TOPCon電池擴產規模將達到300GW以上，較2022年120GW的擴產規模實現翻倍以上增長。

判斷2023年TOPCon電池擴產超過300GW，按照目前1.6億元/GW的設備價值量計算，TOPCon設備的市場空間為480億元。

新型高效電池快速擴產

資料來源：各公司公告

預計2023年TOPCon電池擴產占比最高

資料來源：各公司公告

TOPCon電池在建及規劃項目豐富

資料來源：各公司公告