微導納米：先進薄膜沉積設備供應商，2018-2022年公司營收高速增長
微導納米是一家以ALD技術為核心的薄膜沉積設備供應商。公司是一家面向全球的半導體、泛半導體高端微納裝備制造商，目前公司形成了以原子層沉積（ALD）技術為核心，CVD等多種真空薄膜技術梯次發展的產品體系，專注于先進微米級、納米級薄膜設備的研發、生產與銷售，向下游客戶提供先進薄膜設備、配套產品及服務。
公司產品廣泛應用于光伏、半導體等多個應用領域。公司目前已開發出多款薄膜沉積設備，涵蓋ALD、PEALD二合一、PECVD等系列產品，下游應用領域包括半導體、光伏、新型顯示、微機電（MEMS）、高功率及高頻率器件、催化及生物醫藥等，其中半導體、光伏領域產品矩陣更為豐富，貢獻公司主要收入及訂單來源。
公司的發展歷程主要分為五個階段，目前正處于戰略升級發展階段。
①首臺產品研發驗證階段（2015年12月-2017年7月）：公司成立之初即開始原型機研發，于2016年底形成原型機KF1000主機（夸父KF系列原子層沉積系統，主要運用ALD技術，對晶硅太陽能電池表面Al2O3鈍化膜進行制備，下同），并持續進行工藝調試。該原型機僅為單腔體主機，未包含材料傳輸結構，尚不具備產業化生產能力。公司一代量產機型KF4000于2017年初開始工藝驗證，于2017年中開始試量產。
②下游龍頭客戶攻堅階段（2017年8月-2018年5月）：憑借工藝驗證的初步結果，公司集中拜訪國內電池片行業龍頭企業，陸續與光伏下游行業龍頭企業簽訂樣機試用協議。通過產品與客戶產線的磨合，推進公司產品在PERC電池鈍化工藝上的突破。公司2017年下半年開始進行KF6000機型和以臭氧工藝為核心工藝的KF10000S機型的研發事宜，2018年中KF6000機型進行量產驗證。
③市場與產品突破階段（2018年5月-2018年12月）：隨著KF6000機型在下游頭部企業開始量產爬坡，由于產品的示范作用和帶頭效應，公司產品在行業內知名度進一步提升。同時，公司積極推進產品線的拓寬計劃，啟動半導體領域與柔性電子領域機型的研發工作。
④加速發展階段（2019年1月-2020年12月）：公司臭氧工藝與等離子體技術陸續取得突破，KF10000S機型與ZR4000×2機型（祝融ZR管式PEALD系統，集成PEALD與PECVD技術，同一臺設備可完成PERC電池或TOPCon電池Al2O3膜和SiNx膜，或TOPCon電池超薄SiOx隧穿層和摻雜多晶硅薄膜的制備）先后研制成功，公司產品得到有效推廣，在光伏領域的知名度進一步提升。
半導體領域，鳳凰系列樣機（鳳凰P系列原子層沉積鍍膜系統，運用ALD技術，主要用于單片型12寸及8寸晶圓生產中的氧化物、氮化物及金屬鍍膜工藝）于2019年初搭建完成并進行工藝調試。公司在此平臺上開發了Al2O3、HfO2、ZrO2、TiO2、SiO2等單片鍍膜工藝。公司于2020年初進行了麒麟（麒麟QL系列原子層沉積鍍膜系統，采用ALD技術，用于批量型12寸及8寸晶圓生產中氧化物、氮化物及金屬鍍膜工藝）、鳳凰系列新機型和龍系列團簇平臺（龍Dragon系列真空傳輸系統，用于半導體先進制程的晶圓真空傳輸系統）的立項啟動工作，并著手建立產業化應用中心，配備更高級別的潔凈室與半導體級檢測設備。
⑤戰略升級發展階段（2020年12月-至今）：在光伏領域，公司ZR5000×2批量型PEALD鍍膜系統以及KF10000S、KF15000等高端光伏裝備陸續獲得包括阿特斯、隆基股份、愛旭股份、晶科能源等多家重要光伏客戶訂單，并在通威太陽能、無錫尚德等N型TOPCon高效電池生產線上開展應用；在半導體領域，公司首套用于300mm（12英寸）晶圓的High-k柵氧層薄膜沉積的ALD設備已實現銷售，實現國產半導體ALD設備在28nm集成電路制造關鍵工藝（高介電常數柵氧層材料沉積環節）中的突破。針對國內半導體薄膜沉積各細分應用領域研發試制新型ALD設備陸續取得進展；在其他應用領域，公司自主開發的FG系列卷對卷設備能夠在大幅寬的材料表面沉積阻隔層，實現較低的水汽滲透率，具備良好的阻水阻氧能力，已實現產業化應用。
公司已進入戰略升級發展階段，光伏、半導體等領域不斷取得突破
資料來源：公司資料
自主研發驅動發展，持續加大研發投入。隨著技術和應用領域的不斷發展，下游客戶對薄膜沉積設備工藝路線、材料類型、技術指標等要求也不斷變化，公司緊跟行業技術發展趨勢，持續推進新產品、新工藝研發，研發投入金額保持快速增長。公司研發支出（均為費用化開支）從2018年的0.35億元大幅提升至2022年的1.38億元，年復合增速達到41.34%，2022年研發費用占營收比重為20.22%，維持在較高的水準。
研發人員快速增長，團隊規模逐漸壯大。公司高度重視自主研發，以海內外專家為核心，積極引入和培養一批經驗豐富的電氣、工藝、機械、軟件等領域工程師，2022年末研發人員達到241人，占比達到23.08%，較2018年62人快速增長，研發團隊的構建將不斷助力公司下游應用領域關鍵產品和技術的攻關與突破。
公司持續加大研發投入
資料來源：公司資料
公司研發技術人員數量逐年增長
資料來源：公司資料
公司持續推進光伏及半導體領域技術研發，并逐步延伸至新能源、柔性電子、新型顯示等領域。公司繼續深化開發薄膜沉積技術在下一代光伏電池、半導體各細分應用、柔性電子等應用領域的技術和產品儲備，并已在下游行業多家知名公司進行產品驗證。2022 年公司研發投入 1.38 億元，其中半導體領域研發投入占比約為55.19%，投向包括邏輯、存儲、新型顯示器、化合物半導體等項目；光伏領域研發投入占比約為 37.47%，投向包括公司 TOPCon、XBC、鈣鈦礦/異質結疊層電池等新一代高效電池技術等項目。
公司主要研發項目及進展
資料來源：公司資料
公司營業收入高速增長，2018-2022年收入CAGR達到101%。公司專注于薄膜沉積設備領域，持續拓展下游應用領域。近年來受益于光伏行業的快速發展，公司持續推出符合市場需求的高性能產品，銷售規模實現了高速增長，2018-2022年公司營業收入從0.42億元增長至6.85億元，CAGR為101.03%；歸母凈利潤于2019年扭虧實現盈利0.55億元后保持穩定，2022年歸母凈利潤為0.54億元，2020年起公司加大人才引入力度和產品應用領域拓展，費用金額快速上升，導致最終凈利潤水平有所波動。2022年公司主要產品在光伏PERC及TOPCon等新型高效電池技術領域、半導體領域的銷量大幅增長，帶動收入規?？焖僭鲩L，全年實現營收6.85億元，同比增長59.96%，歸母凈利潤0.54億元，同比增長17.43%。受下游擴產以及產品驗收節奏影響，2023Q1公司實現營收0.76億元，同比下降42.65%，歸母凈利潤為-0.01億元，同比下降141.75%。
新簽訂單大幅增長，未來業績增長有保障。截至2022年12月底，公司在手專用設備訂單22.93億元，其中光伏設備、半導體設備、其他設備訂單分別為19.67億元、2.57億、6881萬元。2023年1月初至年報披露日，公司新增專用設備訂單22.74億元，其中光伏設備、半導體設備、其他設備新增訂單分別為20.16億元、2.42億元、1580萬元。2022年下半年以來TOPCon電池大擴產趨勢明確，公司受益于此實現了光伏設備訂單的快速增長；與此同時，公司積極推進半導體設備驗證，訂單量持續攀升貢獻增量。我們認為，隨著銷售規模的持續擴大，各項費用成本或將攤薄，公司業績表現有望穩中向好。
2022年公司營業收入6.85億元，同比+59.96%
資料來源：公司資料
2022年公司歸母凈利潤0.54億元，同比+17.43%
資料來源：公司資料
收入構成逐漸多元化，產品拓展成效逐步顯現。從公司收入的產品構成來看，光伏ALD設備貢獻公司主要的收入來源，2019-2020年公司專用設備收入均為光伏ALD設備，2021年ALD設備銷售收入占專用設備收入比例為45.32%，2022H1進一步降低至44.18%。公司PECVD設備、PEALD二合一設備于2020年開發完成，而后產品取得了相應訂單并于2021年開始實現銷售，2021年光伏PECVD設備、PEALD二合一設備、半導體ALD設備均實現了收入確認，為收入增長帶來增量，整體產品結構多元化程度實現了較大的提升。此外，隨著TOPCon等新型高效電池技術路線確定、成熟度提高，下游客戶新型高效電池擴產計劃加速，公司2022年ALD設備的訂單數量大幅增長。此外，設備改造業務主要受光伏電池硅片大尺寸化趨勢、公司臭氧工藝的推廣以及新工藝開發及應用情況等因素影響，預計設備改造業務規模會隨著設備累計銷量增加而持續增長。
產品結構變動影響近年來毛利率有所下降。從毛利率的絕對數值來看，公司整體毛利率保持在40%以上的較高水平，體現出公司產品的市場競爭力強勁。從變化趨勢來看，2018-2020年公司毛利率穩定保持在52%左右的水平，2021年毛利率同比下滑6.13pct至45.77%，主要由于新推出的PECVD設備和PEALD二合一平臺設備毛利率偏低所致；相關產品開發完成時，新型高效電池的具體技術路線尚未成為行業共識，設備產品在新型高效電池產業化應用的成熟度也有待提高，因此公司首先將其在PERC電池領域進行推廣，而相關產品于PERC技術路線的應用在市場上已存在成熟的競爭方案，參考市場水平定價，毛利率偏低。2022年下半年以來TOPCon電池大擴產的趨勢逐步明確，公司應用于新型高效電池的設備有望更充分地發揮出產品潛力，毛利率有望提升，帶動整體盈利能力實現優化。
公司毛凈利率變動情況
資料來源：公司資料
公司各業務毛利率變動情況
資料來源：公司資料
